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?光刻掩膜版的檢驗(yàn)是用傳播光檢查制作缺陷，在以前，這項(xiàng)檢查是使用顯微鏡，人工來檢驗(yàn)完成的，但如今掩膜版越來越復(fù)雜，檢驗(yàn)工作也從人工檢查轉(zhuǎn)變?yōu)樽詣?dòng)化工具檢查，這種轉(zhuǎn)變使得光刻掩膜版的檢驗(yàn)更加迅速，也減少了錯(cuò)誤的產(chǎn)生。

光刻掩膜版的檢驗(yàn)主要分為外觀檢驗(yàn)以及尺寸測量。

外觀檢驗(yàn)主要是查看光刻版表面是否有凹陷、針孔、黑點(diǎn)、劃傷、臟點(diǎn)等，同時(shí)也要檢測圖形是否完整。

尺寸測量主要是測量切割尺寸、居中尺寸，以及測量CD精度。