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掩模版制作的材質(zhì)常見有石英玻璃，蘇打玻璃等。

石英玻璃：熱膨脹系數(shù)非常小，在深UV和近深UV區(qū)域都有很高的穿透系數(shù)，但是石英玻璃的價格也較為昂貴；

蘇打玻璃：熱膨脹系數(shù)較高，需要根據(jù)不同的光刻機及曝光參數(shù)進行特殊的修調(diào)，優(yōu)點是價格低廉，常用于低端光刻版。

膨脹性能的基本概念：

膨脹系數(shù)與熱容的關系：

蘇州硅時代的掩膜版快速制版業(yè)務選用進口原材料，并根據(jù)客戶不同應用場景合理推薦高性價比光刻版。