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制作一塊光刻掩膜版并不僅僅是一臺光刻機(jī)就能完成的，而是需要一整條完整的產(chǎn)線。

首先是在掩膜版基板上覆蓋一層材料，覆蓋的材料包含乳膠、鉻等材料；接下來就是進(jìn)行光刻步驟，硅時代目前引進(jìn)的光刻機(jī)分別是德國的ULTRA200光刻機(jī)，適用于IC 0.28um等級的產(chǎn)品，以及瑞典的SLX2光刻機(jī)，適用于IC 0.13um等級的產(chǎn)品；光刻之后掩膜版需要進(jìn)行檢測，檢測掩膜版無缺陷后才能出貨，這一步會用到檢測設(shè)備；如果掩膜版需要貼膜保存，還需要進(jìn)行清洗、貼膜的步驟，需要用到清洗設(shè)備以及鍍膜機(jī)。