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2022-08-16

在 光刻掩膜版 的工藝中,我們知道在光刻膠的下面是要被刻蝕形成圖案的底層薄膜,倘若這個底層是反光的,光線就有可能從這個膜層反射而且會損害臨近的...

2022-08-06

掩膜版 的制造工藝是集成電路的質(zhì)量的集成度的重要工序,光刻掩膜版是一塊石英板,它可以確定一張硅片中的工藝層所需的完整管芯陣列。掩膜版制作:首...

2022-07-15

掩膜版 也被稱作是光刻版,用于光刻過程中,光刻是半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵接部分,也是流程造價(jià)最高的一部分。 比較常見的光掩膜版種類有四種,分別是...

2022-07-06

光刻是通過特定的生產(chǎn)步驟,將晶圓表面薄膜的特定部分去除的工藝,需要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、...
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