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2021-09-08

　　光刻掩膜版的正反面區(qū)分其實(shí)很簡單，最簡單的方法就是拿到光學(xué)顯微鏡下觀察，有圖形的一面則為正面，反之沒有圖形的一面為反面，刻蝕的時候光刻...

2021-09-03

　　光刻膠分為正性光刻膠和負(fù)性光刻膠，在做工藝時，使用正性光刻膠，光刻掩膜版上透光區(qū)域的光刻膠會被顯影掉，蒸發(fā)金屬時透光區(qū)域區(qū)域留下金屬C...

2021-08-20

　　步進(jìn)式光刻掩膜版的材料是石英，因?yàn)槭⒀谀ぐ媸褂迷谏钭贤夤饪讨惺褂?，石英基材的熱膨脹系?shù)非常小，所以在溫度改變時間也是相對穩(wěn)定的，而且...

2021-08-02

光刻掩模版主要由兩個部分組成，不透光材料與掩模基板。光刻版也被稱作鉻版，就是指在蘇打玻璃或石英玻璃上通過濺射的方式鍍一層鉻層，鉻層就是不透...

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