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金屬掩膜版是半導(dǎo)體領(lǐng)域必不可少的工具,目前國內(nèi)主要生產(chǎn)金屬掩膜版的公司有深圳市鴻浚通科技有限公司;南京澄超光電科技有限公司;湖南省鴻宇通光電有限責(zé)任公司;南京高光半導(dǎo)體材料有限公司;東莞雅格蝕刻元器件有限公司;深圳市益永達(dá)電子有限公司;東莞坤耀金屬制品有限公司;客言佳電子有限公司等。
光刻工藝對掩膜版的質(zhì)量要求
正性光刻對掩膜版有何要求
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