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光刻掩膜版其實(shí)就是電路信息轉(zhuǎn)移的工具,首先是使用軟件,繪制出所需的圖形,也就是電路信息,然后把版圖文件信息傳輸進(jìn)光刻機(jī),通過(guò)投影和離子束曝光的方式,將版圖文件上的電路信息制作在光刻掩膜版上,這樣就得到了一塊帶有電路信息圖案的掩膜版。
光刻掩膜版線寬對(duì)光刻光強(qiáng)的影響
為什么說(shuō)掩膜版是光刻工藝中的消耗品?
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